潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行管控的密閉性較好的空間。由于精密機械工業、半導體工業等對環境的要求，促進了潔凈室技術的發展。

相對濕度是衡量潔凈室等級標準的條件參數之一。實際上，一些應用指定的偏差僅為1％RH，這是由于從物理/化學觀點上相對濕度對材料加工和存儲上的影響。

和其他污染（霉菌，，，螨蟲）在相對濕度超過60%的環境中可以活躍繁殖，甚至有一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。將潔凈室的相對濕度管控在40%至60%的范圍之間，地管控和其他的增長，降低其帶來的影響。

除了各種微的生長，溫濕度的管控在一定程度上可以防止各種化學反應或改變反應速度，譬如腐蝕，將隨著相對濕度的增高而加快。相對濕度在50%時易生銹，相反，有些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護性的氧化物，但并不是好事，因為有可能阻止進一步的氧化反應，影響效率。

潔凈室的發展與現代工業、前列技術密切聯系在一起。濕度的管控也不是越低越好。當相對濕度小于30%時，靜電荷可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。較低的濕度容易造成電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散。高濕度實際上減小了靜電荷積累，這是人們希望的結果。

潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及上的不快。